Caracterización bidimensional y tridimensional de películas delgadas, dispositivos y superficies por perfilometría: a) Determinación de escalón/imagen 3D con perfilometría óptica de 20nm a 1mm b) Determinación de escalón 2D con perfilometría mecánica 20nm a 0.8mm c) Determinación de curvatura superficial con perfilometría mecánica 2D (ST 6919)

Se realiza la caracterización dimensional de microestructuras (largo, ancho, espesor, rugosidad) obtenidas por procesos de microfabricación mediante la utilización del equipamiento adecuado (perfilómetro óptico y perfilómetro mecánico). Como resultados de dicha se entrega un informe con los detalles de las mediciones y los archivos conteniendo los datos de medición sin procesar. Las mediciones están destinadas a empresas o instituciones públicas o privadas, que requieran las mediciones citadas.

Ingeniería Civil, Eléctrica, Mecánica e Ingenierías Relacionadas

INGENIERIA-DE MATERIALES